晶圆切割机8020系列可对直径高8英寸的晶圆进行切割
晶圆切割机8020系列概要
ADT 8020晶圆切割机具有两个端面主轴,可以同时以高生产率将晶圆切成小块。 ADT 8020是一种高精度系统,可以对直径高达8英寸的晶圆进行切割,并且具有高性能和低成本。
ADT 8020系列晶圆切割机特点:
·灵活性-支持轮毂和无轮毂叶片,外径可达3英寸
·1.8 kW或2.4 kW大功率主轴(适用于具有挑战性的应用)
·切割机具有连续变焦放大功能的高级视觉系统
·直观的操作界面,采用大19寸触摸屏显示器
了解更多:http://www.hapoin.com/wafer_dicer/8020series.htm
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