国内某 OLED 镀膜机厂家配置伯东美国 HVA 真空阀门 11000 系列，尺寸以 4”, 6”, 8”阀门口径为主的标准不锈钢气动高真空闸阀,
HVA 不锈钢真空闸阀 11000 系列标准技术规格:
阀门材质: | |
- 阀门主体 | 304 不锈钢 |
- 焊接波纹管轴封 | AM - 350 |
阀门密封方式 | |
- 高真空 | 氟橡胶 |
- 超高真空 | 铜垫圈 / 氟橡胶 |
真空: | |
- 压力范围 | 高真空 1x10-9 mbar, 超高真空 1x10-10 mbar |
- 漏率 | < 2x10-9 mbar l/S |
- 差压关闭 | 1 bar ( 任意位置 ) |
- 开启前最大压力 | ≤ 30 mbar |
烘烤温度（不含电磁阀）: | |
- 弹性体密封阀盖 | 150°C |
- 金属密封阀盖 | -开启温度：200°C -关闭值：150°C |
- 驱动方式 | 手动 60 °c, 气动 60 °c |
机制 | |
手动： | 手摇曲柄 |
电磁阀供电电压 | 120 VAC 50 /60 Hz |
电磁阀可选电压 | 24, 200, 240 VAC 50/60 Hz |
电磁阀位置指示器,最大 | 115 VAC |
气动送风： | 80 psig |
使用寿命: 100,000 启闭次数 (具体视实际使用情况决定) | |
公称通径: DN 16 - 800 mm | |
下图是某 OLED 镀膜机厂家配置上海伯东美国 HVA 高真空阀门
OLED 镀膜机主要面向有机半导体照明客户, 需要镀膜机性能更稳定, 器件效率更高, 性价比高,
对于生产 OLED 镀膜机的客户, 为了节省抽空时间和防止基片的污染, 会选择在 LOADLOCK 与主腔间进行快速传样, 由于两腔室工作的真空度要求不同, 会在腔室之间增加高真空阀门来隔离系统.
伯东美国 HVA 真空阀门已广泛应用于 OLED 镀膜机
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