某半导体工厂在生产线上气体输送环节的气体管路系统采用伯东 HVA 不锈钢真空闸阀 11000 ，作为真空隔离密封.
HVA 不锈钢真空闸阀 11000 系列标准技术规格:
阀门材质: | |
- 阀门主体 | 304 不锈钢 |
- 焊接波纹管轴封 | AM - 350 |
阀门密封方式 | |
- 高真空 | 氟橡胶 |
- 超高真空 | 铜垫圈 / 氟橡胶 |
真空: | |
- 压力范围 | 高真空 1x10-9 mbar, 超高真空 1x10-10 mbar |
- 漏率 | < 2x10-9 mbar l/S |
- 差压关闭 | 1 bar ( 任意位置 ) |
- 开启前最大压力 | ≤ 30 mbar |
烘烤温度（不含电磁阀）: | |
- 弹性体密封阀盖 | 150°C |
- 金属密封阀盖 | -开启温度：200°C -关闭值：150°C |
- 驱动方式 | 手动 60 °c, 气动 60 °c |
机制 | |
手动： | 手摇曲柄 |
电磁阀供电电压 | 120 VAC 50 /60 Hz |
电磁阀可选电压 | 24, 200, 240 VAC 50/60 Hz |
电磁阀位置指示器,最大 | 115 VAC |
气动送风： | 80 psig |
使用寿命: 100,000 启闭次数 (具体视实际使用情况决定) | |
公称通径: DN 16 - 800 mm | |
HVA 是真空技术创新者的真空阀门(插板阀), 是高真空阀门的主要制造商和供应商.
在设计真空系统时, 可以轻松集成 HVA 阀门. HVA 闸阀从5/8英寸（16毫米）到32英寸（800毫米）, 而矩形/狭缝阀的最大距离为80英寸（2m）, 可以满足您的真空阀门(插板阀)要求. 无论您是升级现有的真空系统还是 OEM 设计新的系统, HVA 都可以提供经济高效的替代阀门解决方案.
HVA 真空阀门(插板阀)的阀体和所有主要内部组件都是内部钎焊的真空炉, 消除了虚拟泄漏的可能性, 阀体变形最小化.
40多年来, HVA 一直在建造业内质量最高, 设计最好的真空阀门(插板阀). HVA 代表着质量, 工程, 定制和服务.
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